压电陶瓷||超声波片

压电铁电材料在信息的检测、转换、处理、显示和存储等方面具有广泛的应用，压电陶瓷，是一类重要的高技术功能材料.目前所使用的压电铁电陶瓷材料体系，绝大多数是铅基压电陶瓷体系，如PbTiO3、

Pb(T，iZr)O3(PZT)压电陶瓷体系，或以PZT为基加入ABO3复合钙钛矿铁电体作为*三组元构成的多元系压电陶瓷体系.在这些陶瓷材料中，超声波压电陶瓷环，氧化铅约占原料总质量的70%.氧化铅的强毒性以及在烧结过程中的高挥发性，使铅基陶瓷在制备、使用及废弃后处理过程中对生态环境及人类造成严重危害.显然，高频压电陶瓷环，铅基压电陶瓷的使用是与人类社会可持续发展战略背道而弛的，铅污染已经成为人类/公害0之一.为了保持人类社会和生态环境的协调发展，欧盟、日本等国家和地区已经立法禁止使用含铅的电子材料.尽管基于无铅压电陶瓷性能还无法取代铅基陶瓷的现状，而暂时将铅基压电陶瓷豁免于相关的法令法规之外，但相关国家和地区已经未雨绸缪，投入大量的人力和财力研究开发无铅压电陶瓷.我国是压电材料元器件的生产和出口大国，因此研究和开发无铅压电陶瓷是一项具有重大社会和经济意义的课题.

压电陶瓷执行器因其体积小、位移分辨率高、响应速度快、输出力大、换能效益高等优点，广泛应用于扫描探针显微镜、自适应

/主动光学元件、纳米定位、振动控制、声学、声纳、微流体输送等领域中[1]。对于压电陶瓷稳定工作很多困难亟待解决，超声波片，其中较迫切的就是驱动电源，压电陶瓷驱动电源技术己成为目前压电陶瓷执行器应用中的关键技术之一[2]。